反应性喷溅蚀刻〔法〕 reactive sputtering: 反应溅射法; 往复溅射reactive etching: 反应侵蚀; 反应性腐蚀reactive sputtering source: 反应溅射源reactive sputtering system: 反应性溅镀系统etching reactive ion: 反应离子蚀刻法下载手机词典可随时随地查词查翻译